Silan (SiH4)

Tehnički parametri

Silan je spoj silicija i vodika. To je opći izraz za niz spojeva, uključujući monosilan (SiH4), disilan (Si2H6) i neke spojeve višeg nivoa silicij-vodik. Među njima je najčešći monosilan, ponekad skraćeno silan. Silan je bezbojni plin odvratnog mirisa na češnjak. Topljiv u vodi, gotovo netopljiv u etanolu, eteru, benzenu, kloroformu, silicij kloroformu i silicij tetrakloridu. Kemijska svojstva silana su mnogo aktivnija od alkana i lako se oksidiraju. U dodiru sa zrakom može doći do samozapaljenja. Ne reagira s dušikom ispod 25°C, a ne reagira ni s ugljikovodičnim spojevima na sobnoj temperaturi. Požar i eksplozija silana rezultat su reakcije s kisikom. Silan je izuzetno osjetljiv na kisik i zrak. Silan s određenom koncentracijom također će eksplozivno reagirati s kisikom na temperaturi od -180°C. Silan je postao najvažniji specijalni plin koji se koristi u procesima poluvodičke mikroelektronike, a koristi se u pripremi različitih mikroelektroničkih filmova, uključujući monokristalne filmove, mikrokristalne, polikristalne, silicijev oksid, silicij nitrid i metalne silicide. Mikroelektronička primjena silana još uvijek se temeljito razvija: niskotemperaturna epitaksija, selektivna epitaksija i heteroepitaksijalna epitaksija. Ne samo za silicijske uređaje i silicijske integrirane krugove, već i za složene poluvodičke uređaje (galijev arsenid, silicij karbid, itd.). Također ima primjenu u pripremi materijala superrešetkastih kvantnih jama. Može se reći da se silan koristi u gotovo svim naprednim linijama za proizvodnju integriranih sklopova u moderno doba. Primjena silana kao filma i premaza koji sadrži silicij proširila se iz tradicionalne industrije mikroelektronike na razna područja kao što su čelik, strojevi, kemikalije i optika. Još jedna potencijalna primjena silana je proizvodnja visokoučinkovitih keramičkih dijelova motora, posebice uporaba silana za proizvodnju silicida (Si3N4, SiC, itd.) Tehnologija mikropraha privlači sve više pažnje.

Primjena:

①Elektronički:

Silan se nanosi na slojeve polikristalnog silicija na silicijskim pločicama pri proizvodnji poluvodiča i brtvila.

②Solar:

Silan se koristi u proizvodnji solarnih fotonaponskih modula.

③Industrijsko:

Koristi se u zelenom staklu koje štedi energiju i primjenjuje se u procesu taloženja tankog filma parom.

Normalni paket:

Prednost:

①Više od deset godina na tržištu;

②Proizvođač ISO certifikata;

③Brza dostava;

④Stabilan izvor sirovina;

⑤Online sustav analize za kontrolu kvalitete u svakom koraku;

⑥Visoki zahtjevi i pedantan postupak za rukovanje cilindrom prije punjenja;

⑦Čistoća: elektronički stupanj visoke čistoće;

⑧Upotreba: materijali solarnih ćelija; izrada polisilicija visoke čistoće, silicijevog oksida i optičkih vlakana; proizvodnja stakla u boji.