Komponenta | 99,9999% | Jedinica |
Kisik (Ar) | ≤0,1 | ppmV |
Dušik | ≤0,1 | ppmV |
Vodik | ≤20 | ppmV |
Helij | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0,1 | ppmV |
THC | ≤0,1 | ppmV |
Klorosilani | ≤0,1 | ppmV |
Disiloksan | ≤0,1 | ppmV |
Disilan | ≤0,1 | ppmV |
Vlaga (H2O) | ≤0,1 | ppmV |
Silan je spoj silicija i vodika. To je opći naziv za niz spojeva, uključujući monosilan (SiH4), disilan (Si2H6) i neke silicij-vodikove spojeve više razine. Među njima je monosilan najčešći, ponekad skraćeno nazivan silan. Silan je bezbojni plin s odvratnim mirisom češnjaka. Topiv u vodi, gotovo netopljiv u etanolu, eteru, benzenu, kloroformu, silicijevom kloroformu i silicijevom tetrakloridu. Kemijska svojstva silana su mnogo aktivnija od alkana i lako se oksidiraju. Spontano izgaranje može se dogoditi u kontaktu sa zrakom. Ne reagira s dušikom ispod 25°C, a ne reagira ni s ugljikovodičnim spojevima na sobnoj temperaturi. Požar i eksplozija silana rezultat su reakcije s kisikom. Silan je izuzetno osjetljiv na kisik i zrak. Silan određene koncentracije također će eksplozivno reagirati s kisikom na temperaturi od -180°C. Silan je postao najvažniji specijalni plin koji se koristi u procesima poluvodičke mikroelektronike i koristi se u pripremi raznih mikroelektroničkih filmova, uključujući monokristalne filmove, mikrokristalne, polikristalne, silicijev oksid, silicijev nitrid i metalne silicide. Mikroelektroničke primjene silana još se uvijek intenzivno razvijaju: niskotemperaturna epitaksija, selektivna epitaksija i heteroepitaksijalna epitaksija. Ne samo za silicijske uređaje i silicijske integrirane krugove, već i za složene poluvodičke uređaje (galijev arsenid, silicijev karbid itd.). Također ima primjenu u pripremi superrešetkastih kvantnih jama. Može se reći da se silan koristi u gotovo svim naprednim proizvodnim linijama integriranih krugova u moderno doba. Primjena silana kao filma i premaza koji sadrže silicij proširila se iz tradicionalne mikroelektroničke industrije na različita područja poput čelika, strojeva, kemikalija i optike. Druga potencijalna primjena silana je proizvodnja visokoučinkovitih keramičkih dijelova motora, a posebno je upotreba silana za proizvodnju silicidnih (Si3N4, SiC itd.) mikroprahova privukla sve više pozornosti.
①Elektronički:
Silan se nanosi na polikristalne silicijske slojeve na silicijskim pločicama pri proizvodnji poluvodiča i brtvila.
②Solarna energija:
Silan se koristi u proizvodnji solarnih fotonaponskih modula.
③Industrijski:
Koristi se u energetski štedljivom zelenom staklu i primjenjuje se u procesu tankog filma nanošenja pare.
Proizvod | Tekući silan SiH4 | |
Veličina paketa | 47-litarski cilindar | Y-440L |
Neto težina punjenja/cilindar | 10 kg | 125 kg |
KOLIČINA Utovareno u 20' kontejner | 250 cilindara | 8 cilindara |
Ukupna neto težina | 2,5 tone | 1 tona |
Tara težina cilindra | 52 kg | 680 kg |
Ventil | CGA632/DISS632 |
①Više od deset godina na tržištu;
②Proizvođač s ISO certifikatom;
③Brza dostava;
④Stabilan izvor sirovina;
⑤Online sustav analize za kontrolu kvalitete u svakom koraku;
⑥Visoki zahtjevi i pedantan postupak rukovanja cilindrom prije punjenja;
⑦Čistoća: visoka čistoća elektroničke kvalitete;
⑧Upotreba: materijali za solarne ćelije; izrada visokočistog polisilicija, silicijevog oksida i optičkih vlakana; proizvodnja obojenog stakla.