komponenta | 99,9999% | Jedinica |
kisik (Ar) | ≤0,1 | ppmV |
Dušik | ≤0,1 | ppmV |
Vodik | ≤20 | ppmV |
Helij | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0,1 | ppmV |
THC | ≤0,1 | ppmV |
Klorosilani | ≤0,1 | ppmV |
Disiloksan | ≤0,1 | ppmV |
Disilane | ≤0,1 | ppmV |
Vlaga (H2O) | ≤0,1 | ppmV |
Silan je spoj silicija i vodika.To je opći izraz za niz spojeva, uključujući monosilan (SiH4), disilan (Si2H6) i neke spojeve višeg nivoa silicij-vodik.Među njima je najčešći monosilan, ponekad skraćeno silan.Silan je bezbojni plin odvratnog mirisa na češnjak.Topljiv u vodi, gotovo netopljiv u etanolu, eteru, benzenu, kloroformu, silicij kloroformu i silicij tetrakloridu.Kemijska svojstva silana su mnogo aktivnija od alkana i lako se oksidiraju.U dodiru sa zrakom može doći do samozapaljenja.Ne reagira s dušikom ispod 25°C, a ne reagira ni s ugljikovodičnim spojevima na sobnoj temperaturi.Požar i eksplozija silana rezultat su reakcije s kisikom.Silan je izuzetno osjetljiv na kisik i zrak.Silan s određenom koncentracijom također će eksplozivno reagirati s kisikom na temperaturi od -180°C.Silan je postao najvažniji specijalni plin koji se koristi u procesima poluvodičke mikroelektronike, a koristi se u pripremi raznih mikroelektroničkih filmova, uključujući monokristalne filmove, mikrokristalne, polikristalne, silicijev oksid, silicij nitrid i metalne silicide.Mikroelektronička primjena silana još uvijek se temeljito razvija: niskotemperaturna epitaksija, selektivna epitaksija i heteroepitaksijalna epitaksija.Ne samo za silicijske uređaje i silicijske integrirane krugove, već i za složene poluvodičke uređaje (galijev arsenid, silicij karbid, itd.).Također ima primjenu u pripremi materijala superrešetkastih kvantnih jama.Može se reći da se silan koristi u gotovo svim naprednim linijama za proizvodnju integriranih sklopova u moderno doba.Primjena silana kao filma i premaza koji sadrži silicij proširila se iz tradicionalne industrije mikroelektronike na različita područja kao što su čelik, strojevi, kemikalije i optika.Još jedna potencijalna primjena silana je proizvodnja visokoučinkovitih keramičkih dijelova motora, posebice uporaba silana za proizvodnju silicida (Si3N4, SiC, itd.) Tehnologija mikropraha privlači sve više pažnje.
①Elektronički:
Silan se nanosi na slojeve polikristalnog silicija na silicijskim pločicama pri proizvodnji poluvodiča i brtvila.
②Solar:
Silan se koristi u proizvodnji solarnih fotonaponskih modula.
③Industrijsko:
Koristi se u zelenom staklu koje štedi energiju i primjenjuje se u postupku taloženja tankog filma parom.
Proizvod | Silan SiH4 tekućina | |
Veličina Paketa | 47Ltr cilindar | Y-440L |
Neto težina punjenja/cil | 10 kg | 125 kg |
KOLIČINA Utovareno u kontejner od 20' | 250 Cyls | 8Cyls |
Ukupna neto težina | 2,5 tona | 1 tona |
Tara težine cilindra | 52 kg | 680 kg |
Ventil | CGA632/DISS632 |
①Više od deset godina na tržištu;
②Proizvođač ISO certifikata;
③Brza dostava;
④Stabilan izvor sirovina;
⑤Online sustav analize za kontrolu kvalitete u svakom koraku;
⑥Visoki zahtjevi i pedantan postupak za rukovanje cilindrom prije punjenja;
⑦Čistoća: elektronički stupanj visoke čistoće;
⑧Upotreba: materijali solarnih ćelija;izrada polisilicija visoke čistoće, silicijevog oksida i optičkih vlakana;proizvodnja stakla u boji.