Ugljikov tetrafluorid (CF4)

Tehnički parametri

Ugljikov tetrafluorid je halogenirani ugljikovodik kemijske formule CF4. Može se smatrati halogeniranim ugljikovodikom, halogeniranim metanom, perfluorougljikom ili anorganskim spojem. Ugljikov tetrafluorid je plin bez boje i mirisa, netopljiv u vodi, topljiv u benzenu i kloroformu. Stabilan je pri normalnoj temperaturi i tlaku, izbjegavajte jake oksidanse, zapaljive ili gorljive materijale. Nezapaljiv je plin, unutarnji tlak u spremniku će se povećati kada je izložen visokoj toplini, a postoji opasnost od pucanja i eksplozije. Kemijski je stabilan i nezapaljiv. Samo tekući metalni reagens amonijak-natrij može djelovati na sobnoj temperaturi. Ugljikov tetrafluorid je plin koji uzrokuje efekt staklenika. Vrlo je stabilan, može dugo ostati u atmosferi i vrlo je snažan staklenički plin. Ugljikov tetrafluorid se koristi u procesu plazma jetkanja raznih integriranih krugova. Također se koristi kao laserski plin i koristi se u niskotemperaturnim rashladnim sredstvima, otapalima, mazivima, izolacijskim materijalima i rashladnim sredstvima za infracrvene detektore. To je najčešće korišteni plin za plazma jetkanje u mikroelektronskoj industriji. To je mješavina tetrafluorometana visoke čistoće i tetrafluorometana visoke čistoće te kisika visoke čistoće. Može se široko koristiti u siliciju, silicijevom dioksidu, silicijevom nitridu i fosfosilikatnom staklu. Nagrizanje tankoslojnih materijala poput volframa i volframa također se široko koristi u čišćenju površina elektroničkih uređaja, proizvodnji solarnih ćelija, laserskoj tehnologiji, niskotemperaturnom hlađenju, inspekciji curenja i deterdžentu u proizvodnji tiskanih pločica. Koristi se kao niskotemperaturno rashladno sredstvo i tehnologija suhog nagrizanja plazmom za integrirane krugove. Mjere opreza za skladištenje: Čuvati u hladnom, prozračenom skladištu nezapaljivih plinova. Držati dalje od izvora vatre i topline. Temperatura skladištenja ne smije prelaziti 30°C. Treba ga skladištiti odvojeno od lako (zapaljivih) zapaljivih tvari i oksidansa te izbjegavati miješano skladištenje. Skladišni prostor treba biti opremljen opremom za hitne slučajeve propuštanja.

Primjena:

① Rashladno sredstvo:

Tetrafluorometan se ponekad koristi kao rashladno sredstvo na niskim temperaturama.

② Jetkanje:

Koristi se u mikrofabrikaciji elektronike samostalno ili u kombinaciji s kisikom kao plazma jetkalo za silicij, silicijev dioksid i silicijev nitrid.

Normalni paket:

Prednost:

①Visoka čistoća, najnoviji objekt;

②Proizvođač s ISO certifikatom;

③Brza dostava;

④Online sustav analize za kontrolu kvalitete u svakom koraku;

⑤Visoki zahtjevi i pedantan postupak rukovanja cilindrom prije punjenja;