Silanje spoj silicija i vodika i opći je pojam za niz spojeva. Silane uglavnom uključuju monosilan (SIH4), disilane (Si2H6) i neke silikonske vodikove spojeve više razine, s općom formulom SinH2N+2. Međutim, u stvarnoj proizvodnji općenito nazivamo monosilan (kemijska formula SIH4) kao "silane".

Elektroničkisilanski plinuglavnom se dobiva raznim reakcijskim destilacijom i pročišćavanjem silicijskog praha, vodika, silicij-tetrahrida, katalizatora itd. Silane s čistoćom od 3N do 4N naziva se silanom u industrijskom razredu, a silane s čistoćom veće od 6N naziva se elektroničkim plinovima od silana.

Kao izvor plina za nošenje silikonskih komponenti,silanski plinpostao je važan poseban plin koji ne može zamijeniti mnogi drugi silicijski izvori zbog velike čistoće i sposobnosti postizanja fine kontrole. Monosilan stvara kristalni silicij kroz reakciju pirolize, što je trenutno jedna od metoda za proizvodnju velikih razmjera granularnog monokristalnog silicija i polikristalnog silicija u svijetu.

Karakteristike silana

Silane (SIH4)je bezbojni plin koji reagira zrakom i uzrokuje gušenje. Njegov sinonim je silicijski hidrid. Kemijska formula silana je SIH4, a njegov sadržaj je čak 99,99%. Na sobnoj temperaturi i tlaku Silane je toksični plin. Točka topljenja silana je -185 ℃, a točka ključanja -112 ℃. Na sobnoj temperaturi silan je stabilan, ali kada se zagrijava na 400 ℃, potpuno će se raspasti u plinoviti silicij i vodik. Silane je zapaljiv i eksplozivan, a eksplozivno će izgorjeti u zraku ili halogenom plinu.

Polja aplikacija

Silane ima širok raspon upotrebe. Osim što je najučinkovitiji način pričvršćivanja silikonskih molekula na površinu stanice tijekom proizvodnje solarnih ćelija, također se široko koristi u proizvodnim biljkama kao što su poluvodiči, ravne ploče i obloženo staklo.

Silanje izvor silicija za kemijske procese taloženja pare kao što su pojedinačni kristalni silicij, polikristalni silikonski epitaksijski vafri, silicij -dioksid, silicijevo nitrid i fosfosilicirano staklo u industriji poluvodiča i široko se koristi u proizvodnji i razvoju solarnih ćelija, OPTION OPTIER -a, OPREMNICA

Posljednjih godina još uvijek se pojavljuju visokotehnološka primjena silana, uključujući proizvodnju napredne keramike, kompozitnih materijala, funkcionalnih materijala, biomaterijala, visokoenergetskih materijala itd., Postaje osnova mnogih novih tehnologija, novih materijala i novih uređaja.