Elektroničkispecijalni plinovivažna su grana specijalnih plinova. Prodiru u gotovo svaku kariku proizvodnje poluvodiča i nezamjenjive su sirovine za proizvodnju elektroničke industrije kao što su ultra-veliki integrirani krugovi, ravni zasloni i solarne ćelije.

U poluvodičkoj tehnologiji, plinovi koji sadrže fluor se široko koriste. Trenutno, na globalnom tržištu elektroničkih plinova, elektronički plinovi koji sadrže fluor čine oko 30% ukupne količine. Elektronički plinovi koji sadrže fluor važna su komponenta posebnih elektroničkih plinova u području elektroničkih informacijskih materijala. Uglavnom se koriste kao sredstva za čišćenje i sredstva za jetkanje, a mogu se koristiti i kao dopanti, materijali za stvaranje filma itd. U ovom članku autor će vas upoznati s uobičajenim plinovima koji sadrže fluor.

Sljedeći plinovi koji sadrže fluor su često korišteni

Dušikov trifluorid (NF3): Plin koji se koristi za čišćenje i uklanjanje naslaga, obično se koristi za čišćenje reakcijskih komora i površina opreme.

Sumporov heksafluorid (SF6)Fluorirajuće sredstvo koje se koristi u procesima taloženja oksida i kao izolacijski plin za punjenje izolacijskih medija.

Fluorid vodika (HF): Koristi se za uklanjanje oksida s površine silicija i kao sredstvo za jetkanje silicija i drugih materijala.

Dušikov fluorid (NF): Koristi se za jetkanje materijala kao što su silicijev nitrid (SiN) i aluminijev nitrid (AlN).

Trifluorometan (CHF3) itetrafluorometan (CF4)Koristi se za jetkanje fluoridnih materijala kao što su silicijev fluorid i aluminijev fluorid.

Međutim, plinovi koji sadrže fluor nose određene opasnosti, uključujući toksičnost, korozivnost i zapaljivost.

Toksičnost

Neki plinovi koji sadrže fluor su otrovni, poput fluorovodika (HF), čija para jako nadražuje kožu i dišne ​​​​putove te je štetna za ljudsko zdravlje.

Korozivnost

Fluorid vodika i neki fluoridi su vrlo korozivni i mogu uzrokovati ozbiljna oštećenja kože, očiju i dišnih putova.

Zapaljivost

Neki fluoridi su zapaljivi i reagiraju s kisikom ili vodom u zraku oslobađajući intenzivnu toplinu i otrovne plinove, što može uzrokovati požar ili eksploziju.

Opasnost od visokog tlaka

Neki fluorirani plinovi su eksplozivni pod visokim tlakom i zahtijevaju posebnu pozornost pri upotrebi i skladištenju.

Utjecaj na okoliš

Plinovi koji sadrže fluor imaju visok atmosferski vijek trajanja i vrijednosti GWP-a, što ima destruktivan učinak na ozonski omotač atmosfere i može uzrokovati globalno zatopljenje i onečišćenje okoliša.

Primjena plinova u novim područjima poput elektronike i dalje se produbljuje, što donosi veliku novu potražnju za industrijskim plinovima. Na temelju velike količine novih proizvodnih kapaciteta glavnih elektroničkih komponenti poput poluvodiča i zaslonskih panela u kontinentalnoj Kini u sljedećih nekoliko godina, kao i snažne potražnje za zamjenom uvoza elektroničkih kemijskih materijala, domaća industrija elektroničkih plinova ostvarit će visoku stopu rasta.