ElektroničkiPosebni plinovivažna su grana posebnih plinova. Oni prodiru u gotovo svaku vezu proizvodnje poluvodiča i neophodne su sirovine za proizvodnju elektroničkih industrija kao što su ultra veliki integrirani krugovi, uređaji za prikaz ravnih ploča i solarne ćelije.

U poluvodičkoj tehnologiji široko se koriste plinovi koji sadrže fluor. Trenutno, na globalnom tržištu elektroničkih plinova, elektronički plinovi koji sadrže fluor čine oko 30% od ukupnog broja. Elektronički plinovi koji sadrže fluori važna su komponenta posebnih elektroničkih plinova u polju elektroničkih informacijskih materijala. Uglavnom se koriste kao sredstva za čišćenje i sredstva za jetak, a mogu se koristiti i kao dopanti, materijali za formiranje filma itd. U ovom članku autor će vas odvesti da razumijete uobičajene plinove koji sadrže fluor.

Sljedeće se obično koriste plinovi koji sadrže fluor

Dušik trifluorid (NF3): Plin koji se koristi za čišćenje i uklanjanje naslaga, obično se koristi za čišćenje reakcijskih komora i površina opreme.

Sumpor heksafluorid (SF6): Fluorinirajuće sredstvo koje se koristi u procesima taloženja oksida i kao izolacijski plin za popunjavanje izolacijskih medija.

Vodikov fluorid (HF): Koristi se za uklanjanje oksida s površine silicija i kao etchant za jetkanje silicija i drugih materijala.

Dušikov fluorid (NF): Koristi se za urez materijala poput silicij -nitrida (SIN) i aluminijskog nitrida (ALN).

Trifluorometan (CHF3) itetrafluorometan (CF4): Koristi se za etch fluoridne materijale poput silicij fluorida i aluminij fluorida.

Međutim, plinovi koji sadrže fluor imaju određene opasnosti, uključujući toksičnost, korozivnost i zapaljivost.

Toksičnost

Neki plinovi koji sadrže fluor toksični su, poput vodikovog fluorida (HF), čija je para vrlo iritantna za kožu i respiratorni trakt i štetna za zdravlje ljudi.

Korozivnost

Vodikov fluorid i neki fluoridi su vrlo korozivni i mogu uzrokovati ozbiljna oštećenja kože, očiju i respiratornog trakta.

Zapaljivost

Neki fluoridi su zapaljivi i reagiraju s kisikom ili vodom u zraku kako bi se oslobodile intenzivne topline i toksične plinove, što može uzrokovati vatru ili eksploziju.

Opasnost visokog tlaka

Neki fluorirani plinovi su eksplozivni pod visokim tlakom i zahtijevaju posebnu njegu kada se koriste i pohranjuju.

Utjecaj na okoliš

Plinovi koji sadrže fluor imaju visoke atmosferske vijek i vrijednosti GWP-a, koji imaju destruktivan učinak na atmosferski ozonski sloj i mogu uzrokovati globalno zagrijavanje i zagađenje okoliša.

Primjena plinova u poljima u nastajanju, poput elektronike, i dalje se produbljuje, donoseći veliku količinu nove potražnje za industrijskim plinovima. Na temelju velike količine novih proizvodnih kapaciteta velikih elektroničkih komponenti, kao što su poluvodiči i prikazane ploče u kontinentalnoj Kini u narednih nekoliko godina, kao i snažnu potražnju za supstitucijom uvoza elektroničkih kemijskih materijala, domaća elektronička plinska industrija uvest će visoku stopu rasta.