elektroničkispecijalni plinovisu važna grana specijalnih plinova. Oni prodiru u gotovo svaku kariku proizvodnje poluvodiča i nezamjenjive su sirovine za proizvodnju elektroničkih industrija kao što su integrirani sklopovi ultra-velikih razmjera, uređaji s ravnim zaslonom i solarne ćelije.

U tehnologiji poluvodiča naširoko se koriste plinovi koji sadrže fluor. Trenutno, na globalnom tržištu elektroničkih plinova, elektronički plinovi koji sadrže fluor čine oko 30% ukupnog broja. Elektronički plinovi koji sadrže fluor važna su komponenta posebnih elektroničkih plinova u području elektroničkih informacijskih materijala. Uglavnom se koriste kao sredstva za čišćenje i jetkanje, a mogu se koristiti i kao dodaci, materijali za stvaranje filma, itd. U ovom članku, autor će vas upoznati s uobičajenim plinovima koji sadrže fluor.

Sljedeći su obično korišteni plinovi koji sadrže fluor

Dušikov trifluorid (NF3): plin koji se koristi za čišćenje i uklanjanje naslaga, obično se koristi za čišćenje reakcijskih komora i površina opreme.

Sumporni heksafluorid (SF6): Sredstvo za fluoriranje koje se koristi u procesima taloženja oksida i kao izolacijski plin za punjenje izolacijskih medija.

Vodikov fluorid (HF): Koristi se za uklanjanje oksida s površine silicija i kao sredstvo za nagrizanje silicija i drugih materijala.

Dušikov fluorid (NF): Koristi se za jetkanje materijala kao što su silicijev nitrid (SiN) i aluminijev nitrid (AlN).

Trifluorometan (CHF3) itetrafluorometan (CF4): Koristi se za jetkanje fluoridnih materijala kao što su silicijev fluorid i aluminijev fluorid.

Međutim, plinovi koji sadrže fluor imaju određene opasnosti, uključujući toksičnost, korozivnost i zapaljivost.

Toksičnost

Neki plinovi koji sadrže fluor su otrovni, kao što je fluorovodik (HF), čije pare jako iritiraju kožu i dišne ​​putove te štetne za ljudsko zdravlje.

Korozivnost

Vodikov fluorid i neki fluoridi vrlo su korozivni i mogu ozbiljno oštetiti kožu, oči i dišne ​​puteve.

Zapaljivost

Neki fluoridi su zapaljivi i reagiraju s kisikom ili vodom u zraku te oslobađaju jaku toplinu i otrovne plinove, što može uzrokovati požar ili eksploziju.

Opasnost od visokog tlaka

Neki fluorirani plinovi su eksplozivni pod visokim tlakom i zahtijevaju poseban oprez pri uporabi i skladištenju.

Utjecaj na okoliš

Plinovi koji sadrže fluor imaju dug životni vijek u atmosferi i GWP vrijednosti, što ima destruktivan učinak na atmosferski ozonski omotač i može uzrokovati globalno zagrijavanje i onečišćenje okoliša.

Primjena plinova u novim područjima kao što je elektronika nastavlja se produbljivati, donoseći veliku količinu nove potražnje za industrijskim plinovima. Na temelju velike količine novih proizvodnih kapaciteta glavnih elektroničkih komponenti kao što su poluvodiči i zaslonske ploče u kontinentalnoj Kini u sljedećih nekoliko godina, kao i snažne potražnje za supstitucijom uvoza elektroničkih kemijskih materijala, domaća industrija elektroničkog plina uvest će visoka stopa rasta.