Upotreba volfram heksafluorida (WF6)

Volfram heksafluorid (WF6) se taloži na površini pločice CVD postupkom, ispunjavajući metalne međuvezne kanale i stvarajući metalnu međusobnu vezu između slojeva.

Razgovarajmo prvo o plazmi.Plazma je oblik materije koji se uglavnom sastoji od slobodnih elektrona i nabijenih iona.Postoji široko u svemiru i često se smatra četvrtim stanjem materije.Zove se stanje plazme, također se naziva i "plazma".Plazma ima visoku električnu vodljivost i snažno spajanje s elektromagnetskim poljem.To je djelomično ionizirani plin, sastavljen od elektrona, iona, slobodnih radikala, neutralnih čestica i fotona.Sama plazma je električki neutralna smjesa koja sadrži fizikalno i kemijski aktivne čestice.

Jednostavno objašnjenje je da će pod djelovanjem visoke energije molekula prevladati van der Waalsovu silu, silu kemijske veze i Coulombovu silu, te predstavljati oblik neutralnog elektriciteta u cjelini.U isto vrijeme, visoka energija koju daje izvana nadvladava gornje tri sile.Funkcija, elektroni i ioni predstavljaju slobodno stanje, koje se može umjetno koristiti pod modulacijom magnetskog polja, kao što je proces jetkanja poluvodiča, CVD proces, PVD i IMP proces.

Što je visoka energija?U teoriji, mogu se koristiti i visoke temperature i visokofrekventni RF.Općenito govoreći, visoku temperaturu je gotovo nemoguće postići.Ovaj zahtjev za temperaturom je previsok i može biti blizu sunčeve temperature.To je u osnovi nemoguće postići u procesu.Stoga industrija obično koristi visokofrekventne RF da bi to postigla.RF plazma može doseći čak 13MHz+.

Volfram heksafluorid se plazmizira pod djelovanjem električnog polja, a zatim se taloži parama magnetskim poljem.Atomi W slični su perju zimske guske i padaju na tlo pod djelovanjem gravitacije.Polako, W atomi se talože u prolazne rupe i na kraju pune pune prolazne rupe kako bi formirale metalne međusobne veze.Osim taloženja W atoma u prolaznim rupama, hoće li se oni taložiti i na površinu Wafera?Da definitivno.Općenito govoreći, možete koristiti W-CMP proces, koji nazivamo mehaničkim postupkom mljevenja za uklanjanje.To je slično korištenju metle za pometanje poda nakon jakog snijega.Snijeg na tlu je pometen, ali snijeg u rupi na tlu će ostati.Dolje, otprilike isto.


Vrijeme objave: 24. prosinca 2021

Pošaljite nam svoju poruku: