Volframov heksafluorid (WF6) se nanosi na površinu pločice CVD postupkom, ispunjavajući metalne međusobne kanale i formirajući metalnu međusobnu vezu između slojeva.
Prvo razgovarajmo o plazmi. Plazma je oblik materije koji se uglavnom sastoji od slobodnih elektrona i nabijenih iona. Široko je rasprostranjena u svemiru i često se smatra četvrtim agregatnim stanjem materije. Naziva se plazma, također nazvana "plazma". Plazma ima visoku električnu vodljivost i snažan efekt sprege s elektromagnetskim poljem. To je djelomično ionizirani plin, sastavljen od elektrona, iona, slobodnih radikala, neutralnih čestica i fotona. Sama plazma je električno neutralna smjesa koja sadrži fizički i kemijski aktivne čestice.
Jednostavno objašnjenje je da će pod djelovanjem visoke energije molekula prevladati van der Waalsovu silu, kemijsku vezu i Coulombovu silu te u cjelini predstavljati oblik neutralnog elektriciteta. Istovremeno, visoka energija koju daje vanjski faktor prevladava gore navedene tri sile. Funkcija je da elektroni i ioni predstavljaju slobodno stanje, koje se može umjetno koristiti modulacijom magnetskog polja, kao što je proces jetkanja poluvodiča, CVD proces, PVD i IMP proces.
Što je visoka energija? Teoretski se mogu koristiti i visokotemperaturni i visokofrekventni RF. Općenito govoreći, visoku temperaturu je gotovo nemoguće postići. Ovaj temperaturni zahtjev je previsok i može biti blizu temperature sunca. U osnovi ga je nemoguće postići u tom procesu. Stoga industrija obično koristi visokofrekventni RF kako bi to postigla. Plazma RF može doseći i do 13MHz+.
Volframov heksafluorid se plazmizira pod djelovanjem električnog polja, a zatim taloži u pari magnetskim poljem. Atomi W slični su zimskom guščjem perju i padaju na tlo pod djelovanjem gravitacije. Polako se atomi W talože u prolazne rupe i konačno ispunjavaju pune prolazne rupe kako bi formirali metalne međusobne veze. Osim taloženja atoma W u prolaznim rupama, hoće li se oni taložiti i na površini pločice? Da, definitivno. Općenito govoreći, možete koristiti W-CMP proces, što nazivamo postupkom mehaničkog brušenja, za uklanjanje. Slično je korištenju metle za čišćenje poda nakon jakog snijega. Snijeg na tlu se uklanja, ali snijeg u rupi na tlu ostat će. Dolje, otprilike isto.
Vrijeme objave: 24. prosinca 2021.
