Volfram -heksafluorid (WF6) se taloži na površini vafera kroz proces CVD -a, ispunjavajući metalne rovove za međusobno povezivanje i formirajući metalnu međusobnu povezanost između slojeva.
Prvo razgovarajmo o plazmi. Plazma je oblik materije koji se uglavnom sastoji od slobodnih elektrona i nabijenih iona. Ona postoji široko u svemiru i često se smatra četvrtom stanjem materije. Zove se plazma država, koja se naziva i "plazma". Plazma ima visoku električnu vodljivost i ima snažan učinak spajanja s elektromagnetskim poljem. To je djelomično ionizirani plin, sastavljen od elektrona, iona, slobodnih radikala, neutralnih čestica i fotona. Sama plazma je električno neutralna smjesa koja sadrži fizički i kemijski aktivne čestice.
Izravno objašnjenje je da će pod djelovanjem visoke energije molekula prevladati Van der Waalsovu silu, silu kemijske veze i Coulomb silu i predstaviti oblik neutralne električne energije u cjelini. Istodobno, visoka energija koju je vanjska strana prevladala nadmašuje gore navedene tri sile. Funkcija, elektroni i ioni predstavljaju slobodno stanje, koje se može umjetno koristiti u modulaciji magnetskog polja, kao što je proces sutkanja poluvodiča, proces CVD -a, PVD i IMP proces.
Što je visoka energija? U teoriji se mogu koristiti i visoka temperatura i visoka frekvencija RF. Općenito govoreći, visoku temperaturu je gotovo nemoguće postići. Ova potreba za temperaturom je previsoka i može biti blizu sunčeve temperature. To je u osnovi nemoguće postići u procesu. Stoga industrija obično koristi visokofrekventne RF da bi je postigla. Plazma RF može doseći čak 13MHz+.
Volfram hexafluorid je plazmizirani pod djelovanjem električnog polja, a zatim magnetskom poljem koje je prilagođeno isparavanjem. W atomi su slični perje zimske guske i padaju na zemlju pod djelovanjem gravitacije. Polako se W atomi odlažu u rupe kroz rupe i na kraju pune pune kroz rupe kako bi formirali metalne međusobne veze. Osim odlaganja atoma u rupama kroz rupe, hoće li se i odlagati na površinu reza? Da, definitivno. Općenito govoreći, možete koristiti W-CMP postupak, a to je ono što nazivamo mehaničkim postupkom brušenja za uklanjanje. Slično je korištenju metle za pometanje pod nakon jakih snijega. Snijeg na tlu se odvija, ali snijeg u rupi na zemlji ostat će. Dolje, otprilike isto.
Post Vrijeme: prosinac-24-2021
