Upotreba volframovog heksafluorida (WF6)

Volfram heksafluorid (WF6) taloži se na površinu pločice kroz CVD proces, ispunjavajući metalne međuspojne kanale i formirajući metalne međuspoje između slojeva.

Razgovarajmo prvo o plazmi.Plazma je oblik materije koji se uglavnom sastoji od slobodnih elektrona i nabijenih iona.Rasprostranjeno je u svemiru i često se smatra četvrtim agregatnim stanjem.Naziva se stanjem plazme, a naziva se i "plazma".Plazma ima visoku električnu vodljivost i ima snažan učinak sprege s elektromagnetskim poljem.To je djelomično ionizirani plin, sastavljen od elektrona, iona, slobodnih radikala, neutralnih čestica i fotona.Sama plazma je električki neutralna smjesa koja sadrži fizički i kemijski aktivne čestice.

Jednostavno objašnjenje je da će pod djelovanjem visoke energije molekula nadvladati van der Waalsovu silu, silu kemijske veze i Coulombovu silu, te predstavljati oblik neutralnog elektriciteta kao cjeline.U isto vrijeme, visoka energija koju prenosi izvana nadvladava gornje tri sile.Funkcija, elektroni i ioni predstavljaju slobodno stanje, koje se može umjetno koristiti pod modulacijom magnetskog polja, kao što je postupak jetkanja poluvodiča, CVD postupak, PVD i IMP proces.

Što je visoka energija?U teoriji se mogu koristiti RF i visoke temperature i visoke frekvencije.Općenito govoreći, visoku temperaturu gotovo je nemoguće postići.Ovaj zahtjev za temperaturu je previsok i može biti blizu temperature sunca.To je u osnovi nemoguće postići u procesu.Stoga industrija obično koristi visokofrekventni RF da bi to postigla.Plazma RF može doseći čak 13MHz+.

Volframov heksafluorid se plazmaizira pod djelovanjem električnog polja, a zatim se taloži pomoću magnetskog polja.Atomi W slični su perju zimskih gusaka i padaju na tlo pod djelovanjem gravitacije.Polako, W atomi se talože u prolazne rupe, i na kraju pune pune rupe kako bi formirale metalne međusobne veze.Osim taloženja W atoma u prolaznim otvorima, hoće li se oni također taložiti na površini Wafera?Da definitivno.Općenito govoreći, možete koristiti W-CMP proces, koji mi nazivamo mehaničkim procesom mljevenja za uklanjanje.To je slično korištenju metle za brisanje poda nakon velikog snijega.Snijeg na zemlji se zamete, ali snijeg u rupi na zemlji će ostati.Dolje, otprilike isto.


Vrijeme objave: 24. prosinca 2021