Volfram heksafluorid (WF6) taloži se na površinu pločice kroz CVD proces, ispunjavajući metalne međuspojne kanale i formirajući metalne međuspoje između slojeva.
Razgovarajmo prvo o plazmi. Plazma je oblik materije koji se uglavnom sastoji od slobodnih elektrona i nabijenih iona. Rasprostranjeno je u svemiru i često se smatra četvrtim agregatnim stanjem. Naziva se stanjem plazme, a naziva se i "plazma". Plazma ima visoku električnu vodljivost i ima snažan učinak sprege s elektromagnetskim poljem. To je djelomično ionizirani plin, sastavljen od elektrona, iona, slobodnih radikala, neutralnih čestica i fotona. Sama plazma je električki neutralna smjesa koja sadrži fizički i kemijski aktivne čestice.
Jednostavno objašnjenje je da će pod djelovanjem visoke energije molekula nadvladati van der Waalsovu silu, silu kemijske veze i Coulombovu silu, te predstavljati oblik neutralnog elektriciteta kao cjeline. U isto vrijeme, visoka energija koju prenosi izvana nadvladava gornje tri sile. Funkcija, elektroni i ioni predstavljaju slobodno stanje, koje se može umjetno koristiti pod modulacijom magnetskog polja, kao što je proces jetkanja poluvodiča, CVD proces, PVD i IMP proces.
Što je visoka energija? U teoriji se mogu koristiti RF i visoke temperature i visoke frekvencije. Općenito govoreći, visoku temperaturu gotovo je nemoguće postići. Ovaj zahtjev za temperaturu je previsok i može biti blizu temperature sunca. To je u osnovi nemoguće postići u procesu. Stoga industrija obično koristi visokofrekventni RF da bi to postigla. Plazma RF može doseći čak 13MHz+.
Volframov heksafluorid se plazmaizira pod djelovanjem električnog polja, a zatim se taloži pomoću magnetskog polja. Atomi W slični su perju zimskih gusaka i padaju na tlo pod djelovanjem gravitacije. Polako, W atomi se talože u prolazne rupe, i na kraju pune pune rupe kako bi formirale metalne međusobne veze. Osim taloženja W atoma u prolaznim rupama, hoće li se oni također taložiti na površini Wafera? Da, definitivno. Općenito govoreći, možete koristiti W-CMP proces, koji mi nazivamo mehaničkim procesom mljevenja za uklanjanje. To je slično korištenju metle za brisanje poda nakon velikog snijega. Snijeg na zemlji je pometen, ali snijeg u rupi na zemlji će ostati. Dolje, otprilike isto.
Vrijeme objave: 24. prosinca 2021
