Uloga sumporovog heksafluorida u jetkanju silicijevog nitrida

Sumporov heksafluorid je plin s izvrsnim izolacijskim svojstvima i često se koristi u visokonaponskim gašenjima luka i transformatorima, visokonaponskim dalekovodima, transformatorima itd. Međutim, osim ovih funkcija, sumporov heksafluorid se također može koristiti kao elektroničko jetkalo .Sumporni heksafluorid visoke čistoće za elektronički je idealan elektronički jetkač koji se naširoko koristi u području tehnologije mikroelektronike.Danas će urednik posebnog plina Niu Ruide Yueyue predstaviti primjenu sumpornog heksafluorida u jetkanju silicijevog nitrida i utjecaj različitih parametara.

Raspravljamo o procesu jetkanja SiNx plazmom SF6, uključujući promjenu snage plazme, omjera plina SF6/He i dodavanje kationskog plina O2, raspravljamo o njegovom utjecaju na brzinu jetkanja zaštitnog sloja SiNx elementa TFT-a i korištenje zračenja plazme. spektrometar analizira promjene koncentracije svake vrste u SF6/He, SF6/He/O2 plazmi i stopu disocijacije SF6 te istražuje odnos između promjene brzine jetkanja SiNx i koncentracije vrsta plazme.

Studije su otkrile da kada se poveća snaga plazme, povećava se brzina jetkanja;ako je brzina protoka SF6 u plazmi povećana, koncentracija atoma F raste iu pozitivnoj je korelaciji s brzinom jetkanja.Osim toga, nakon dodavanja kationskog plina O2 pod fiksnom ukupnom brzinom protoka, to će imati učinak povećanja brzine jetkanja, ali pod različitim omjerima protoka O2/SF6, postojat će različiti reakcijski mehanizmi, koji se mogu podijeliti u tri dijela : (1 ) Omjer protoka O2/SF6 je vrlo mali, O2 može pomoći disocijaciji SF6, a brzina jetkanja u ovom trenutku je veća nego kada O2 nije dodan.(2) Kada je omjer protoka O2/SF6 veći od 0,2 u odnosu na interval koji se približava 1, u ovom trenutku, zbog velike količine disocijacije SF6 u obliku F atoma, brzina jetkanja je najveća;ali u isto vrijeme, O atomi u plazmi također rastu i Lako je formirati SiOx ili SiNxO(yx) s površinom SiNx filma, a što se više O atoma povećava, to će F atomima biti teže za reakcija jetkanja.Stoga se brzina jetkanja počinje usporavati kada je omjer O2/SF6 blizu 1. (3) Kada je omjer O2/SF6 veći od 1, brzina jetkanja se smanjuje.Zbog velikog povećanja O2, disocirani atomi F sudaraju se s O2 i formiraju OF, što smanjuje koncentraciju atoma F, što rezultira smanjenjem brzine jetkanja.Iz ovoga se može vidjeti da kada se doda O2, omjer protoka O2/SF6 je između 0,2 i 0,8, te se može postići najbolja brzina jetkanja.