Sumpor heksafluorid je plin s izvrsnim izolacijskim svojstvima i često se koristi u visokonaponskom gašenju luka i transformatorima, visokonaponskim prijenosnim linijama, transformatorima itd. Međutim, osim ovih funkcija, sumpor heksafluorid se također može koristiti kao elektronički etchant. Elektronski stupanj sumpor visoke čistoće heksafluorid je idealan elektronički etchant, koji se široko koristi u području tehnologije mikroelektronike. Danas će NIU Ruide Special Uređivač plina Yueyue uvesti primjenu sumpornog heksafluorida u jetkanje silicij -nitrida i utjecaj različitih parametara.
Raspravljamo o procesu SF6 u plazmi koji je jetkano SINX, uključujući promjenu snage u plazmi, omjer plina SF6/HE i dodavanje kationskog plina O2, raspravljajući o njegovom utjecaju na brzinu jetkanja SINX elementa zaštitnog sloja TFT -a, a upotreba spektrometra i HE/HE u SF6/SF6/ Istražuje odnos između promjene SINX -ove brzine jetkanja i koncentracije vrsta plazme.
Studije su otkrile da se, kada se povećava snaga u plazmi, povećava brzina jetkanja; Ako se brzina protoka SF6 u plazmi povećava, koncentracija F atoma povećava se i pozitivno je povezana sa brzinom jetkanja. Osim toga, nakon dodavanja kationskog plina O2 pod fiksnim ukupnim brzinom protoka, imat će učinak povećanja brzine jetkanja, ali u različitim omjerima protoka O2/SF6, postojat će različiti mehanizmi reakcije, koji se mogu podijeliti u tri dijela: (1) omjer protoka O2/SF6 je vrlo mali, a O2 može pomoći u ETCH -u. (2) Kada je omjer protoka O2/SF6 veći od 0,2 prema intervalu koji se približava 1, u ovom trenutku, zbog velike količine disocijacije SF6 u formiranju F atoma, brzina jetkanja je najveća; Ali istodobno se povećavaju i O atomi u plazmi i lako je formirati Siox ili SINXO (YX) s površinom filma SINX, a što se više O atomi povećavaju, teže će F atomi biti za reakciju jetkanja. Stoga se brzina jetkanja počinje usporavati kada je omjer O2/SF6 blizu 1. (3) kada je omjer O2/SF6 veći od 1, brzina jetkanja smanjuje se. Zbog velikog povećanja O2, disocirani F atomi sudaraju se s O2 i oblikom, što smanjuje koncentraciju F atoma, što rezultira smanjenjem brzine jetkanja. Iz ovoga se može vidjeti da kada se doda O2, omjer protoka O2/SF6 iznosi između 0,2 i 0,8, a može se dobiti najbolja brzina jetkanja.
Post Vrijeme: dec-06-2021
