Uobičajeni specijalni elektronički plinovi koji sadrže fluor uključujusumpor heksafluorid (SF6), volframov heksafluorid (WF6),ugljikov tetrafluorid (CF4), trifluorometan (CHF3), dušikov trifluorid (NF3), heksafluoroetan (C2F6) i oktafluorpropan (C3F8).
S razvojem nanotehnologije i velikim razvojem elektroničke industrije, njezina će potražnja iz dana u dan rasti. Dušikov trifluorid, kao neizostavan i najkorišteniji specijalni elektronički plin u proizvodnji i obradi ploča i poluvodiča, ima širok tržišni prostor.
Kao vrsta specijalnog plina koji sadrži fluor,dušikov trifluorid (NF3)je elektronički specijalni plinski proizvod s najvećim tržišnim kapacitetom. Kemijski je inertan na sobnoj temperaturi, aktivniji od kisika na visokoj temperaturi, stabilniji od fluora i lak za rukovanje. Dušikov trifluorid se uglavnom koristi kao plin za plazma jetkanje i sredstvo za čišćenje reakcijske komore, a prikladan je za područja proizvodnje poluvodičkih čipova, ravnih zaslona, optičkih vlakana, fotonaponskih ćelija itd.
U usporedbi s drugim elektroničkim plinovima koji sadrže fluor,dušikov trifluoridima prednosti brze reakcije i visoke učinkovitosti. Posebno u jetkanju materijala koji sadrže silicij, kao što je silicij nitrid, ima visoku stopu jetkanja i selektivnost, ne ostavljajući ostatke na površini jetkanog predmeta. Također je vrlo dobro sredstvo za čišćenje i ne zagađuje površinu, što može zadovoljiti potrebe procesa obrade.
Vrijeme objave: 14. rujna 2024
