U 2018. globalno tržište elektroničkog plina za integrirane sklopove dosegnulo je 4,512 milijardi USD, što je porast od 16% u odnosu na prethodnu godinu.Visoka stopa rasta industrije elektroničkih specijalnih plinova za poluvodiče i velika veličina tržišta ubrzali su domaći plan zamjene elektroničkih specijalnih plinova!
Što je elektronski plin?
Elektronički plin odnosi se na osnovni izvorni materijal koji se koristi u proizvodnji poluvodiča, ravnih zaslona, svjetlećih dioda, solarnih ćelija i drugih elektroničkih proizvoda, a široko se koristi u čišćenju, jetkanju, stvaranju filma, dopiranju i drugim procesima.Glavna područja primjene elektroničkog plina uključuju elektroničku industriju, solarne ćelije, mobilne komunikacije, automobilske navigacije i automobilske audio i video sustave, zrakoplovstvo, vojnu industriju i mnoga druga područja.
Elektronički specijalni plin može se podijeliti u sedam kategorija prema vlastitom kemijskom sastavu: silicij, arsen, fosfor, bor, metalni hidrid, halid i metalni alkoksid.Prema različitim metodama primjene u integriranim krugovima, može se podijeliti na plin za dopiranje, plin za epitaksiju, plin za ionsku implantaciju, plin za svjetleće diode, plin za jetkanje, plin za kemijsko taloženje i plin za ravnotežu.Postoji više od 110 jedinica posebnih plinova koji se koriste u industriji poluvodiča, od kojih se više od 30 uobičajeno koristi.
Općenito, industrija proizvodnje poluvodiča dijeli plinove u dvije vrste: obične plinove i posebne plinove.Među njima, uobičajeno korišteni plin odnosi se na centraliziranu opskrbu i koristi puno plina, kao što su N2, H2, O2, Ar, He itd. Posebni plin odnosi se na neke kemijske plinove koji se koriste u procesu proizvodnje poluvodiča, kao što su ekstenzija, ubrizgavanje iona, miješanje, pranje i formiranje maske, što je ono što sada nazivamo elektronskim specijalnim plinom, kao što su SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 itd.
U cijelom proizvodnom procesu industrije poluvodiča, od rasta čipa do konačnog pakiranja uređaja, gotovo svaka karika neodvojiva je od elektroničkog specijalnog plina, te raznolikosti korištenog plina i visokih zahtjeva kvalitete, tako da elektronički plin ima poluvodičke materijale."Hrana".
Posljednjih godina, kineske glavne elektroničke komponente kao što su poluvodiči i zaslonske ploče povećale su nove proizvodne kapacitete, a postoji i velika potražnja za zamjenom uvoza elektroničkih kemijskih materijala.Položaj elektroničkih plinova u industriji poluvodiča postaje sve istaknutiji.Domaća elektronička industrija plina dovest će do brzog rasta.
Elektronički specijalni plin ima vrlo visoke zahtjeve za čistoćom, jer ako čistoća nije u skladu sa zahtjevima, skupine nečistoća kao što su vodena para i kisik u elektroničkom specijalnom plinu lako će stvoriti oksidni film na površini poluvodiča, što utječe na radni vijek elektroničkih uređaja, a elektronički specijalni plin sadrži čestice nečistoća mogu uzrokovati kratke spojeve poluvodiča i oštećenja kruga.Može se reći da poboljšanje čistoće igra ključnu ulogu u prinosu i performansama proizvodnje elektroničkih uređaja.
Uz kontinuirani razvoj industrije poluvodiča, proces proizvodnje čipova nastavlja se poboljšavati, a sada je dosegao 5 nm, što se približava granici Mooreova zakona, što je ekvivalentno jednoj dvadesetini promjera ljudske vlasi ( oko 0,1 mm).Stoga, ovo također postavlja veće zahtjeve za čistoću posebnog elektroničkog plina koji proizvode poluvodiči.
Vrijeme objave: 15. prosinca 2021
