U 2018. godini globalno tržište elektroničkih plinova za integrirane krugove doseglo je 4,512 milijardi USD, što je godišnje povećanje od 16%. Visoka stopa rasta elektroničke posebne plinske industrije za poluvodiče i ogromnu tržišnu veličinu ubrzali su domaći plan zamjene elektroničkog posebnog plina!
Što je elektronski plin?
Elektronski plin odnosi se na osnovni izvorni materijal koji se koristi u proizvodnji poluvodiča, ravnih ploča, diodama koje emitiraju svjetlost, solarnih ćelija i drugih elektroničkih proizvoda, a široko se koristi u čišćenju, jetkanju, stvaranju filma, dopingu i drugim procesima. Glavna područja primjene elektroničkog plina uključuju elektroničku industriju, solarne ćelije, mobilne komunikacije, navigaciju automobila i audio i video sustave automobila, zrakoplovnu, vojnu industriju i mnoga druga polja.
Elektronski posebni plin može se podijeliti u sedam kategorija prema vlastitom kemijskom sastavu: silicij, arsen, fosfor, bor, metalni hidrid, halogenid i metalni alkoksid. Prema različitim metodama primjene u integriranim krugovima, ona se može podijeliti na doping plin, plin epitaksije, plin za implantaciju iona, diodni plin za emitiranje svjetla, plin za jetak, kemijski taloženje pare i plin u ravnoteži. Postoji više od 110 jedinica posebnih plinova koji se koriste u industriji poluvodiča, od kojih se obično koristi više od 30.
Općenito, industrija za proizvodnju poluvodiča dijeli plinove na dvije vrste: uobičajeni plinovi i posebni plinovi. Među njima se najčešće korišteni plin odnosi na centraliziranu opskrbu i koristi puno plina, poput N2, H2, O2, AR, HE, itd. Specijalni plin odnosi se na neke kemijske plinove koji se koriste u procesu proizvodnje poluvodiča, poput proširenja, ubrizgavanja iona, miješanja i maskiranja, što je i sada, a ASH, ASH, ASS, CHER-P3, CHER-PH NH3, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCL, CL2, ETC.
U cjelokupnom proizvodnom procesu poluvodičke industrije, od rasta čipa do završnog pakiranja uređaja, gotovo svaka veza je neodvojiva od elektroničkog posebnog plina, te raznolikosti korištenih plina i visokih zahtjeva za kvalitetom, tako da elektronički plin ima poluvodičke materijale. "Hrana".
Posljednjih godina, glavne kineske elektroničke komponente poput poluvodiča i zaslonskih ploča povećale su se u novim proizvodnim kapacitetima, a postoji velika potražnja za uvoznom supstitucijom elektroničkih kemijskih materijala. Položaj elektroničkih plinova u industriji poluvodiča postaje sve istaknutiji. Domaća elektronička plinska industrija uvest će brzi rast.
Elektronski poseban plin ima vrlo visoke zahtjeve za čistoćom, jer ako čistoća ne donosi zahtjeve, neočišćene skupine poput vodene pare i kisika u elektroničkom posebnom plinu lako će formirati oksidni film na površini poluvodiča, koji utječe na uslužni vijek elektroničkih uređaja, a elektronički poseban plin može uzrokovati i krugove začepanja. Može se reći da poboljšanje čistoće igra vitalnu ulogu u prinosu i performansama proizvodnje elektroničkih uređaja.
S kontinuiranim razvojem poluvodičke industrije, proces proizvodnje čipova i dalje se poboljšava, a sada je dosegao 5nm, koji će se približiti granici Mooreovog zakona, što je ekvivalentno jedan dvadeseti promjer ljudske kose (oko 0,1 mm). Stoga to također daje veće zahtjeve na čistoću elektroničkog posebnog plina koji proizvode poluvodiči.
Post Vrijeme: prosinac 15-2021
