Globalno tržište elektroničkih plinova za integrirane krugove doseglo je 2018. godine 4,512 milijardi američkih dolara, što je međugodišnji porast od 16%. Visoka stopa rasta industrije elektroničkih specijalnih plinova za poluvodiče i ogromna veličina tržišta ubrzali su domaći plan zamjene elektroničkih specijalnih plinova!
Što je elektronski plin?
Elektronski plin odnosi se na osnovni izvorni materijal koji se koristi u proizvodnji poluvodiča, ravnih zaslona, svjetlećih dioda, solarnih ćelija i drugih elektroničkih proizvoda, a široko se koristi u čišćenju, jetkanju, stvaranju filma, dopiranju i drugim procesima. Glavna područja primjene elektroničkog plina uključuju elektroničku industriju, solarne ćelije, mobilne komunikacije, automobilsku navigaciju i automobilske audio i video sustave, zrakoplovnu industriju, vojnu industriju i mnoga druga područja.
Elektronički specijalni plin može se podijeliti u sedam kategorija prema vlastitom kemijskom sastavu: silicij, arsen, fosfor, bor, metalni hidrid, halogenid i metalni alkoksid. Prema različitim metodama primjene u integriranim krugovima, može se podijeliti na dopirajući plin, plin za epitaksiju, plin za ionsku implantaciju, plin za svjetleće diode, plin za jetkanje, plin za kemijsko taloženje pare i balansirajući plin. U poluvodičkoj industriji koristi se više od 110 specijalnih plinova, od kojih se više od 30 uobičajeno koristi.
Općenito, industrija proizvodnje poluvodiča dijeli plinove na dvije vrste: uobičajene plinove i posebne plinove. Među njima, uobičajeno korišteni plin odnosi se na centraliziranu opskrbu i koristi puno plina, kao što su N2, H2, O2, Ar, He itd. Posebni plin odnosi se na neke kemijske plinove koji se koriste u procesu proizvodnje poluvodiča, kao što su ekstenzija, ubrizgavanje iona, miješanje, pranje i stvaranje maske, što danas nazivamo elektroničkim posebnim plinom, kao što su visokočisti SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 itd.
U cijelom proizvodnom procesu poluvodičke industrije, od rasta čipova do konačnog pakiranja uređaja, gotovo svaka karika je neodvojiva od elektroničkog posebnog plina, a raznolikost korištenog plina i visoki zahtjevi za kvalitetom, tako da elektronički plin ima poluvodičke materijale. „Hrana“.
Posljednjih godina, proizvodni kapaciteti glavnih kineskih elektroničkih komponenti poput poluvodiča i zaslonskih panela povećali su se, a postoji i snažna potražnja za zamjenom uvoza elektroničkih kemijskih materijala. Položaj elektroničkih plinova u poluvodičkoj industriji postao je sve istaknutiji. Domaća industrija elektroničkih plinova dovest će do brzog rasta.
Elektronički specijalni plin ima vrlo visoke zahtjeve za čistoću, jer ako čistoća nije u skladu sa zahtjevima, nečistoće poput vodene pare i kisika u elektroničkom specijalnom plinu lako će stvoriti oksidni film na površini poluvodiča, što utječe na vijek trajanja elektroničkih uređaja, a elektronički specijalni plin sadrži čestice nečistoća koje mogu uzrokovati kratke spojeve poluvodiča i oštećenje kruga. Može se reći da poboljšanje čistoće igra vitalnu ulogu u prinosu i performansama proizvodnje elektroničkih uređaja.
S kontinuiranim razvojem poluvodičke industrije, proces proizvodnje čipova se nastavlja poboljšavati i sada je dosegao 5 nm, što se približava granici Mooreovog zakona, koji je ekvivalentan jednoj dvadesetini promjera ljudske dlake (oko 0,1 mm). Stoga se postavljaju i veći zahtjevi za čistoću elektroničkog posebnog plina koji proizvode poluvodiči.
Vrijeme objave: 15. prosinca 2021.
