Vodikov kloridje bezbojni plin s opuštenim mirisom. Njegova vodena otopina naziva se klorovodična kiselina, poznata i kao klorovodična kiselina. Klorid vodikov je vrlo topiv u vodi. Na 0 ° C, 1 volumen vode može se otopiti oko 500 volumena vodikovog klorida.

Ima sljedeća svojstva i karakteristike:

1. Visoka čistoća

Čistoća elektroničkog stupnjavodikov kloridje vrlo visok, obično na PPM -u ili nižoj razini, kako bi se osiguralo da se u proces izrade poluvodiča ne unese nečistoće.

2. Inerrtnost

To je kemijski inertni plin koji ne reagira s mnogim drugim tvarima, što je vrlo važno za sprečavanje kontaminacije poluvodičkih materijala i opreme.

3. visoka stabilnost

Elektronički stupanjvodikov kloridOpćenito ima stabilnu kemiju kako bi se osigurala pouzdana obrada poluvodiča.

U obradi poluvodiča, glavna primjena elektroničkog hidrogen klorida uključuje:

1. Čišćenje površine i priprema

Kao učinkovito sredstvo za čišćenje površine, elektronički stupanjvodikov kloridkoristi se za uklanjanje oksida i nečistoća s površine supstrata kako bi se osigurala kvaliteta i čistoća epitaksijalnog sloja ili filma.

2.Etitaksijalni pomoć za rast

Koristi se kao sredstvo za površinsko liječenje u epitaksijskom procesu, pomaže poboljšati kvalitetu epitaksijskog sloja, poboljšati podudaranje rešetke i smanjiti stvaranje oštećenja rešetke.

3. Prethodna obrada supstrata

Prije pripreme poluvodičkih uređaja, elektronička ocjenavodikov kloridMože se koristiti za liječenje površine supstrata kako bi se formirala stabilna baza za poboljšanje adhezije između epitaksijskog sloja i supstrata.

4. Pomoćni agent za taloženje

U procesu taloženja kemijskog pare (CVD) ili fizičkog taloženja pare (PVD), elektronički klimatizinski klorid može se upotrijebiti kao medij za prijenos plinske faze za sudjelovanje u reakciji taloženja poluvodičkih materijala.

5. sredstvo za prijenos plinske faze

Kao sredstvo za prijenos plinske faze, u reakcijsku komoru unose se i drugi plinoviti prekursori kako bi se prilagodila brzina taloženja i ujednačenost materijala.

Ove karakteristike čine elektroničku ocjenuvodikov kloridVažno sredstvo za obradu u poluvodičkoj tehnologiji, koji ima ključni utjecaj na performanse i pouzdanost konačnog uređaja.

Pored njegove uporabe u poluvodičkoj preradi, elektronički klorid vodikov može pronaći različite uporabe u drugim područjima, uključujući: pripremu materijala visoke čistoće, gorivne ćelije, rast materijala za poluvodiča, litografiju faze pare, analizu materijala, kemijska istraživanja.

Općenito, elektronička ocjenavodikov kloridsvestran je plin visoke čistoće koji ima širok raspon primjena izvan izrade poluvodiča.