Klorovodikje bezbojni plin oštrog mirisa. Njegova vodena otopina naziva se klorovodična kiselina, također poznata kao klorovodična kiselina. Klorovodik je vrlo topljiv u vodi. Na 0°C, 1 volumen vode može otopiti oko 500 volumena klorovodika.

Ima sljedeća svojstva i karakteristike:

1. Visoka čistoća

Čistoća elektroničke kvaliteteklorovodikje vrlo visok, obično na razini ppm ili nižoj, kako bi se osiguralo da se u proces proizvodnje poluvodiča ne unesu nečistoće.

2. Inertnost

To je kemijski inertni plin koji ne reagira s mnogim drugim tvarima, što je vrlo važno za sprječavanje kontaminacije poluvodičkih materijala i opreme.

3. Visoka stabilnost

Elektronička ocjenaklorovodikopćenito ima stabilan kemijski sastav kako bi se osigurala pouzdana obrada poluvodiča.

U obradi poluvodiča, glavne primjene klorovodika elektroničke kvalitete uključuju:

1. Čišćenje i priprema površine

Kao učinkovito sredstvo za čišćenje površina, elektroničke kvaliteteklorovodikkoristi se za uklanjanje oksida i nečistoća s površine podloge kako bi se osigurala kvaliteta i čistoća epitaksijalnog sloja ili filma.

2. Epitaksijalno sredstvo za rast

Koristi se kao sredstvo za površinsku obradu u epitaksijalnom procesu, pomaže u poboljšanju kvalitete epitaksijalnog sloja, poboljšanju podudaranja rešetke i smanjenju stvaranja defekata rešetke.

3. Prethodna obrada podloge

Prije pripreme poluvodičkih uređaja, elektroničke kvaliteteklorovodikmože se koristiti za obradu površine podloge kako bi se formirala stabilna baza za poboljšanje prianjanja između epitaksijalnog sloja i podloge.

4. Pomoćno sredstvo za taloženje

U procesu kemijskog taloženja iz parne faze (CVD) ili fizičkog taloženja iz parne faze (PVD), vodikov klorid elektroničke kvalitete može se koristiti kao medij za prijenos plinovite faze za sudjelovanje u reakciji taloženja poluvodičkih materijala.

5. Sredstvo za prijenos plinovite faze

Kao sredstvo za prijenos plinovite faze, drugi plinoviti prekursori se uvode u reakcijsku komoru kako bi se pomoglo u podešavanju brzine taloženja i ujednačenosti materijala.

Ove karakteristike čine elektroničku ocjenuklorovodikvažan procesni agens u poluvodičkoj tehnologiji, koji ima ključni utjecaj na performanse i pouzdanost konačnog uređaja.

Osim upotrebe u obradi poluvodiča, vodikov klorid elektroničke kvalitete može pronaći razne primjene u drugim područjima, uključujući: pripremu materijala visoke čistoće, gorivne ćelije, rast poluvodičkih materijala, litografiju parne faze, analizu materijala i kemijska istraživanja.

Općenito, elektronička ocjenaklorovodikje svestran plin visoke čistoće koji ima širok raspon primjena izvan proizvodnje poluvodiča.