Laserski plin se uglavnom koristi za lasersko žarenje i plin za litografiju u elektroničkoj industriji. Koristeći prednosti inovacija zaslona mobilnih telefona i širenja područja primjene, opseg tržišta niskotemperaturnog polisilicija dodatno će se proširiti, a proces laserskog žarenja značajno je poboljšao performanse TFT-ova. Među plinovima neonom, fluorom i argonom koji se koriste u ArF excimer laseru za proizvodnju poluvodiča, neon čini više od 96% smjese laserskog plina. S usavršavanjem tehnologije poluvodiča, povećala se upotreba excimer lasera, a uvođenje tehnologije dvostruke ekspozicije dovelo je do naglog porasta potražnje za neonskim plinom koji troše ArF excimer laseri. Koristeći promicanje lokalizacije elektroničkih specijalnih plinova, domaći će proizvođači u budućnosti imati bolji prostor za rast tržišta.
Stroj za litografiju osnovna je oprema za proizvodnju poluvodiča. Litografija definira veličinu tranzistora. Koordinirani razvoj lanca litografske industrije ključ je za proboj litografskog stroja. Odgovarajući poluvodički materijali kao što su fotorezist, plin za fotolitografiju, fotomaska te oprema za premazivanje i razvijanje imaju visok tehnološki sadržaj. Litografski plin je plin koji litografski stroj stvara dubokim ultraljubičastim laserom. Različiti litografski plinovi mogu proizvesti izvore svjetlosti različitih valnih duljina, a njihova valna duljina izravno utječe na rezoluciju litografskog stroja, koji je jedna od jezgri litografskog stroja. U 2020. ukupna globalna prodaja litografskih strojeva bit će 413 jedinica, od čega ASML prodaja 258 jedinica čini 62%, Canonova prodaja 122 jedinice čini 30%, a Nikonova prodaja 33 jedinice čini 8%.
Vrijeme objave: 15. listopada 2021
