Borov triklorid (BCl3)je anorganski spoj koji se često koristi u procesima suhog jetkanja i kemijskog taloženja iz pare (CVD) u proizvodnji poluvodiča. To je bezbojni plin s jakim oštrim mirisom na sobnoj temperaturi i osjetljiv je na vlažan zrak jer hidrolizira i proizvodi klorovodičnu i bornu kiselinu.

Primjena borovog triklorida

U industriji poluvodiča,Borov trikloridUglavnom se koristi za suho jetkanje aluminija i kao dopant za stvaranje P-tipskih područja na silicijskim pločicama. Također se može koristiti za jetkanje materijala kao što su GaAs, Si, AlN i kao izvor bora u određenim specifičnim primjenama. Osim toga, borov triklorid se široko koristi u obradi metala, industriji stakla, kemijskoj analizi i laboratorijskim istraživanjima.

Sigurnost borovog triklorida

Borov trikloridje korozivan i otrovan te može uzrokovati ozbiljno oštećenje očiju i kože. Hidrolizira na vlažnom zraku oslobađajući otrovni plin klorovodik. Stoga je potrebno poduzeti odgovarajuće sigurnosne mjere prilikom rukovanja.Borov triklorid, uključujući nošenje zaštitne odjeće, naočala i opreme za zaštitu dišnih puteva te rad u dobro prozračenom okruženju.