Boron Trichloride (Bcl3)je anorganski spoj koji se obično koristi u procesima suhog jetkanja i kemijskog taloženja pare (CVD) u proizvodnji poluvodiča. To je bezbojni plin s jakim opuštenim mirisom na sobnoj temperaturi i osjetljiv je na vlažni zrak jer hidrolizira za proizvodnju klorovodične kiseline i borne kiseline.

Primjene boron triklorida

U industriji poluvodiča,Boron trikloriduglavnom se koristi za suho jetkanje aluminija i kao dopant za stvaranje regija tipa P na silikonskim vafrima. Također se može koristiti za urez materijala kao što su Gaas, SI, ALN i kao izvor bor -a u određenim specifičnim aplikacijama. Pored toga, boron triklorid se široko koristi u preradi metala, industriji stakla, kemijskim analizama i laboratorijskim istraživanjima.

Sigurnost bor -triklorida

Boron trikloridje korozivna i toksična i može uzrokovati ozbiljnu štetu očima i koži. Hidrolizira u vlažnom zraku za oslobađanje toksičnog plina hidrogen klorida. Stoga se pri rukovanju treba poduzeti odgovarajuće sigurnosne mjereBoron triklorid, uključujući i nošenje zaštitne odjeće, naočala i opreme za zaštitu dišnih zaštita i djelovanje u dobro prozračenom okruženju.